• 低檔716V DC 10 mA DC 7.2 W 
• 中檔720V DC 15 mA DC 10.5W 
• 高檔740V DC 40 mA DC 30 W 

• 儀器中包括有一雙極旋片泵，2XZ-2，抽氣速率為2L/s, 
• 泵上安裝有一個不銹鋼針閥，其接口為寶塔嘴接頭

• 如果基片的直徑為2"和4"，可以選購石英架，每個石英架上可以放25片
• 數(shù)字式真空顯示計，可以精確顯示石英腔體內的真空度

可選真空計

 

• 可選本公司生產研發(fā)的電阻真空計
• 此款真空計是以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下體現(xiàn)的熱傳導特性為原理而研發(fā)的一款低真空測量儀器，特別適應于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空度測量。